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- 2023-04-24 发布于北京
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本发明公开了一种转盘式微波功率检测系统,包括:衬底,表面安装有信号线,所述信号线的顶部设置有第一悬臂梁、第二悬臂梁和第三悬臂梁,所述第一悬臂梁、第二悬臂梁和第三悬臂梁的一端固定连接有衬底,测试电极,安装在衬底的表面,所述测试电极设置有三个。该转盘式微波功率检测系统,第二悬臂梁和第三悬臂梁下拉的过程中,测试电极与第一悬臂梁、第二悬臂梁和第三悬臂梁之间的电容会发生变化,从而工作人员通过测量电容量的变化即可更加便捷的测量信号功率的幅值,通过第一悬臂梁、第二悬臂梁和第三悬臂梁不同比例的长宽比例的不同,使
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114019227 A
(43)申请公布日 2022.02.08
(21)申请号 202111312297.1
(22)申请日 2021.11.08
(71)申请人 张家港芯微感半导体技术有限公司
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