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本发明提供了一种废液处理装置，包括收集部、沉积容器、废液导管、废液容器和排出部；所述收集部用于废液收集；所述沉积容器、所述废液导管和所述废液容器内部相通，实现废液从所述沉积容器经所述废液导管流入所述废液容器；所述排出部与所述废液容器内部相通，用于排出废液，实现易堆积的废料和不易堆积的废液相互分离，既有利于降低容器的更换频率，又有利于防止厂务管道堵塞。本发明还提供了一种涂胶显影设备，具有所述废液处理装置。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113996092 A
(43)申请公布日 2022.02.01
(21)申请号 202111274858.3
(22)申请日 2021.10.29
(71)申请人 沈阳芯源微电子设备股份有限公司
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