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本发明的实施例提供了一种投影物镜系统，涉及光学器件技术领域，该投影物镜系统包括沿光路设置第一透镜群组、光阑、第二透镜群组以及分光器，从而构成了物镜系统本体，第一透镜群组的焦距f1与物镜系统本体的焦距f之比在22到23之间，且第二透镜群组的焦距f2与物镜系统本体的焦距f之比在2到3之间。通过对第一透镜群组和第二透镜群组的焦距比例进行限定，使得镜头成像质量更好，具体通过光学设计提高相对孔径值的同时，又能保证成像质量，对亮度有不少的提升。相较于现有技术，本发明结构精简，对物镜系统参数做出有效改进，以达
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114019661 A
(43)申请公布日 2022.02.08
(21)申请号 202111483415.5
(22)申请日 2021.12.07
(71)申请人 广东省科学院半导体研究所
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