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一种光谱响应的微纳米结构.pdfVIP

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  • 2023-04-24 发布于北京
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一种光谱响应的微纳米结构.pdf

    本申请属于微纳米结构技术领域，尤其涉及一种光谱响应的微纳米结构。本申请的微纳米结构，包括衬底和悬臂；悬臂的一端与衬底的表面连接，悬臂的另一端与衬底不连接；悬臂的形状为弧形；悬臂的表面设有微纳米图案；衬底的表面设有粗糙结构；悬臂为至少两层的复合结构，获取悬臂的当前层数，基于悬臂的当前层数以获取对应的悬臂的曲率半径计算模型，然后根据悬臂的曲率半径计算模型，计算对应的悬臂的曲率半径；根据悬臂的曲率半径夹角和对应的悬臂的曲率半径，计算对应的悬臂的弯曲高度。本申请提供了一种光谱响应的微纳米结构，利用基于微

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114014255 A (43)申请公布日 2022.02.08 (21)申请号 202111308598.7 (22)申请日 2021.11.05 (66)本国优先权数据 2021110

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