原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明公开了一种晶圆裂片设备中空转台机构，包括桌子、移动杆和晶片，桌子的上表面的上部和下部分别开设有上级滑槽和下级滑槽，桌子的内部设置有一级传动结构，一级传动结构包括一级伺服电机、一级主动轮、一级从动轮和一级螺杆，桌子的上方设置有滑动板，滑动板的内部设置有二级传动结构。该晶圆裂片设备中空转台机构，通过移动杆和一级传动结构的配合设置，使该晶圆裂片设备中空转台机构具备了便于调节移动杆间距的效果，从而起到了适用于夹紧不同尺寸晶片的作用，通过限位结构和一级传动结构的配合，在使用的过程中先夹紧晶片，然后通
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114038765 A
(43)申请公布日 2022.02.11
(21)申请号 202111077378.8 H01L 21/687 (2006.01)
(22)申请日
提供农业、铸造、给排水、测量、发电等专利信息的免费检索和下载；后续我们还将提供提供专利申请、专利复审、专利交易、专利年费缴纳、专利权恢复等更多专利服务。并持续更新最新专利内容，完善相关专利服务，助您在专利查询、专利应用、专利学习查找、专利申请等方面用得开心、用得满意！
版权声明书
用户编号：7160061112000031
文档评论（0）