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本发明公开了一种光学元件重力形变抑制装置及抑制方法,包括元件夹持框,所述元件夹持框内部安装有气浮板,所述气浮板上分布有第一气孔和第二气孔,其中,所述第一气孔沿气浮板的周向分布,第二气孔分布在各个所述第一气孔围成的区域内,所述第一气孔连接有压缩空气气源,第二气孔连接有压缩空气气源或真空发生器;所述元件夹持框远离气浮板的一侧具有安装敞口,用于装配光学元件,所述安装敞口的周向侧壁上设有螺纹定位部件。本发明的有益效果是:能够以非接触的方式达到抑制光学元件重力形变的目的,适用于工作反射面朝上水平放置、朝上
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114002805 A
(43)申请公布日 2022.02.01
(21)申请号 202111287753.1
(22)申请日 2021.11.02
(71)申请人 中国工程物理研究院激光聚变研究
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