大学物理实验电子显微技术系列实验.docx

电子显微技术系列实验 扫描隧道显微镜(STM). 1 蒸发法真空镀膜装置 5 扫描隧道显微镜(STM) 图 1 : 扫描隧道显微镜 扫描隧道显微镜（STM）由STM 头部，电子学处理部分，减震系统以及计算机系统（含软件）组成。 图 2 : STM 头部 STM 头部由支架、针尖驱动机构（扫描器）、针尖和样品组成。是 STM 仪器的工作执行部分。 图 3 : 探针及样品 [参考] 针尖制备 图 4 : 机械成型法制备针尖 针尖的材料主要有金属钨丝、铂- 铱合金丝等针尖表面往往覆盖着一层氧化层，或吸附一定的杂质， 这经常是造成隧道电流不稳、噪音大和扫描隧道显微镜图象的不可预期性的原因。因此，每次实验前，都要对针尖进行处理。 目前制备针尖的方法主要有电化学腐蚀法、机械成型法等。钨针尖的制备常用电化学腐蚀法。而铂- 铱 合金针尖则多用机械成型法。 图 5 : 安装探针 图 6 : 电子学控制箱 电子学控制箱是仪器的控制部分，主要实现形貌扫描的各种预设的功能以及维持扫描状态的反馈控制系统。 蒸发法真空镀膜装置 图 1 : 蒸发法真空镀膜装置 蒸发法真空镀膜装置由 DM-300 镀膜机和 干涉显微镜测厚设备组成。 图 2 : DM-300 镀膜机 本仪器主要由真空系统、镀膜室（钟罩）、提升机构、电器控制组成。 可用蒸发法镀制光学元件的各种透射膜、反射膜及各种滤光膜，电学膜或装饰性薄膜。 图 3