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一种基于电源管理的静电防护芯片及其制备方法.pdfVIP

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  • 2023-04-24 发布于北京
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一种基于电源管理的静电防护芯片及其制备方法.pdf

    本发明公开了基于电源管理的静电防护芯片，包括衬底、形成在衬底上的第一外延层、自第一外延层延伸至衬底内的沟槽，沟槽内填充第二外延层，位于衬底内并连接第一外延层、沟槽侧壁和底部的第一注入区，形成在第一外延层内间隔排列的第二注入区，形成在第一外延层、第二外延层上的氧化硅层，形成在氧化硅层上的多晶硅层、多晶硅层上的介质层，贯穿介质层、多晶硅层和氧化硅层并连接第二注入区的第一接触孔，贯穿介质层连接多晶硅层并与第二外延层对应设置的第二接触孔，形成在介质层上并填充第一接触孔、第二接触孔的第一金属层，以及形成在

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114023737 A (43)申请公布日 2022.02.08 (21)申请号 202111310299.7 (22)申请日 2021.11.05 (71)申请人 深圳市鑫飞宏电子有限公司

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