内嵌椭圆的等边三角形谐振腔可调谐压力传感器.pdfVIP

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2023-04-24 发布于四川
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内嵌椭圆的等边三角形谐振腔可调谐压力传感器.pdf

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本发明内嵌椭圆的等边三角形谐振腔可调谐压力传感器属于微纳光电子技术领域；该压力传感器由基底层(1)、矩形金属层(2)、直波导(3)、等边三角形谐振腔(4)和椭圆形金属块(5)组成；所述基底层(1)位于最下端，矩形金属层(2)和直波导(3)依次紧挨设置，并紧贴于基底层(1)上方，所述等边三角形谐振腔(4)位于矩形金属层(2)上，椭圆形金属块(5)位于等边三角形谐振腔(4)上，圆心与等边三角形谐振腔(4)重心重合；本发明内嵌椭圆的等边三角形谐振腔可调谐压力传感器具有结构简单，体积小，传感特性可调谐，

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114018450 A (43)申请公布日 2022.02.08 (21)申请号 202111479214.8 (22)申请日 2021.12.06 (71)申请人黑龙江大学地址 1