多尺寸晶圆快速切换模组.pdfVIP

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2023-04-25 发布于四川
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多尺寸晶圆快速切换模组.pdf

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本发明提供一种多尺寸晶圆快速切换模组，包括：内环形模组，包括内环形底板、一体成形于内环形底板的内环形侧板、固定于内环形侧板顶部的内环形顶板、固定于内环形侧板外侧壁的定位销钉以及固定于内环形侧板外侧壁的滑动塞块；外环形模组，包括外环形底板、一体成型于外环形底板的外环形侧板、固定于外环形侧板顶部的外环形顶板；外环形底板上设置有与定位销钉适配的销孔；本发明通过灵活装卸设置于外环形模组内的内环形模组以适应需要生产加工的对应尺寸的晶圆，实现了生产过程中的晶圆尺寸的快速切换，提高了生产的灵活性并提高了效率。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114038789 A (43)申请公布日 2022.02.11 (21)申请号 202111434309.8 (22)申请日 2021.11.29 (71)申请人莱腾仕精密机电（上海）有限公司