一种真空宽温域自润滑薄膜及其制备方法和应用.pdfVIP

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2023-04-25 发布于四川
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一种真空宽温域自润滑薄膜及其制备方法和应用.pdf

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本发明属于功能薄膜技术领域，特别涉及一种真空宽温域自润滑薄膜及其制备方法和应用。本发明提供了一种真空宽温域自润滑薄膜，包括依次层叠复合的粘结层、过渡层和润滑层；所述粘结层的化学组成为Ti；所述过渡层的化学组成为Ti和TiB2；所述润滑层的化学组成为Ti、TiB2和MoS2。在本发明中，当真空宽温域自润滑薄膜暴露在不同温度时，会相应地激发薄膜内的Ti、TiB2和MoS2不同组元在摩擦接触区域富集，各层组成协同发挥润滑效果，提高真空宽温域自润滑薄膜在真空宽温域内的摩擦学性能和稳定性。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 114045463 B (45)授权公告日 2022.08.09 (21)申请号 202111393729.6 Özlem Baran.et.al..Investig