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2023-04-25 发布于四川
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本发明提供了一种蚀刻装置，包括底座、容纳件、转盘、平移件和喷流件；固定座设置在底座上且具有容纳腔和顶盖，顶盖上具有通孔。转盘设置在容纳腔内，连接有转动驱动组件。平移件滑动设置在容纳件上，具有反应腔和进气孔。喷流件设置在平移件上，具有进液腔道。使用时，将蚀刻液通过进液腔道输入反应腔内，反应腔内部压力降低，外界的气体通过进气孔进入反应腔内并与蚀刻液发生反应，形成具有蚀刻能力的产物。移动平移件至反应腔与通孔连通，使前述产物流入容纳腔内；同时，启动转动驱动组件，转盘带动待蚀刻物转动。本实施例提供的蚀刻装

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114042421 A (43)申请公布日 2022.02.15 (21)申请号 202111447779.8 (22)申请日 2021.11.30 (71)申请人江西华兴四海机械设备有限公司