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芯片提取装置及芯片提取方法.pdfVIP

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  • 2023-04-25 发布于北京
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芯片提取装置及芯片提取方法.pdf

    本发明涉及一种芯片提取装置及芯片提取方法。所述芯片提取装置中，真空吸附头包括腔体以及设置于所述腔体内的摄像头，所述腔体的腔壁上设置有真空抽气口，所述腔体具有用于吸附目标芯片的开口，所述摄像头的设置方向朝向所述腔体的开口。利用所述芯片提取装置，可以在腔体吸附目标芯片之前，利用摄像头确认目标芯片位置并对准，并且在对准后，腔体不需要再大范围地移动，有助于提高芯片提取的准确性和提取位置精度。所述芯片提取方法采用上述芯片提取装置来提取目标芯片，其中使所述腔体仅接触目标芯片的外围区，可以避免提取操作对芯片图

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114038784 A (43)申请公布日 2022.02.11 (21)申请号 202111315742.X (22)申请日 2021.11.08 (71)申请人 武汉新芯集成电路制造有限公司

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