原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明提供了一种空气间隙的形成方法，包括：提供基底，基底上形成有所述字线结构，字线结构的侧面和顶部依次形成有氧化层和冗余氮化硅层；去除所述字线结构顶部的的氧化层和冗余氮化硅层，且保留字线结构侧壁的氧化层和冗余氮化硅层；去除部分冗余氮化硅层；去除剩余的冗余氮化硅层，以在相邻的字线结构之间形成空气间隙；以及，在所述字线结构上形成自对准金属硅化物。自对准金属硅化物的高度比传统工艺中的自对准金属硅化物的高度高很多，因此，减小了自对准金属硅化物的电阻，相应的，所述字线结构之间的空气空隙的高度也比传统工艺中
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114141696 A
(43)申请公布日 2022.03.04
(21)申请号 202111436024.8
(22)申请日 2021.11.29
(71)申请人 上海华力微电子有限公司
提供农业、铸造、给排水、测量、发电等专利信息的免费检索和下载；后续我们还将提供提供专利申请、专利复审、专利交易、专利年费缴纳、专利权恢复等更多专利服务。并持续更新最新专利内容，完善相关专利服务，助您在专利查询、专利应用、专利学习查找、专利申请等方面用得开心、用得满意！
版权声明书
用户编号：7160061112000031
文档评论（0）