基于流体组装的微型发光二极管显示器的巨量转移方法.pdfVIP

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2023-04-26 发布于北京
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基于流体组装的微型发光二极管显示器的巨量转移方法.pdf

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一种微型LED巨量转移压印系统，包括具有捕集位置的阵列的印模基板，每个捕集位置配置有柱状凹槽，以临时固定从微型LED的底表面延伸的龙骨。对于表面贴装微型LED，龙骨是不导电的。在垂直微型LED的情况下，龙骨是导电的第二电极。所述压印系统还包括具有阱的阵列的流体组装载体衬底，所述阱的阵列具有分隔相邻阱的间距，该间距与分隔所述印模基板捕获位置的间距相匹配。显示基板包括与所述捕获位置的间距相同的微型LED连接垫阵列。所述印模基板的顶表面压靠在所述显示基板上，每个捕获位置与相应的微型LED位置连接，然后

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114122050 A (43)申请公布日 2022.03.01 (21)申请号 202111275465.4 H01L 21/677 (2006.01) (22)申请日