一种镜片六自由度柔顺机构运动台.pdfVIP

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2023-04-26 发布于四川
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一种镜片六自由度柔顺机构运动台.pdf

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本发明提供一种镜片六自由度柔顺机构运动台，包括：镜片、XYθZ微动调节机构以及ZθXθY微动调节机构。XYθZ微动调节机构包含柔性铰链，X向、Y1向和Y2向驱动电机，三个电机沿镜片圆周均布，电机轴端连接X向、Y1向及Y2向驱动装置，并在附近分别布置X向、Y1向及Y2向消隙装置。ZθXθY微动调节机构中包含上动板、Z1向电机、Z2向电机、Z3向电机、三个顶杆及镜筒。镜筒上沿圆周均布三处Z向调节柔性铰链，通过同步驱动三个Z向调节柔性铰链实现镜片Z方向调节。通过差动驱动三个Z向调节柔性铰链实现镜片θX

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114114585 A (43)申请公布日 2022.03.01 (21)申请号 202111511611.9 (22)申请日 2021.12.06 (71)申请人中国科学院光电技术研究所