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本发明公开了一种多层薄膜材料热导率在线测量装置与测量方法，所述装置包括：长度不同的两组双端固支梁和三组金属电极；两组双端固支梁包括第一双端固支梁组和第二双端固支梁组；三组金属电极包括第一金属电极组、第二金属电极组和第三金属电极组。所述方法包括：对每一根双端固支梁施加恒定电流I进行加热，测量加热过程中每一根双端固支梁两端的瞬态电压，当温度达到稳态时，测量每一根双端固支梁两端的稳态电压；基于测量的数值，通过拟合并求解预设方程组，得到各层薄膜的热导率。本发明具有操作简单，成本低，无需真空环境，测量速度
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114137020 A
(43)申请公布日 2022.03.04
(21)申请号 202111386063.1
(22)申请日 2021.11.22
(71)申请人 河海大学
地址 21
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