一种超耐磨宽带吸收涂层及其制备方法.pdfVIP

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2023-04-26 发布于四川
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一种超耐磨宽带吸收涂层及其制备方法.pdf

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本发明属于宽带吸收涂层技术领域，具体涉及一种超耐磨宽带吸收涂层及其制备方法，该吸收涂层包括作为内层的反射层、作为中间层的间隔介质层和作为外层的损耗层，所述反射层为W膜，所述间隔介质层为Al2O3膜；所述损耗层是具有W置换Ti的、岩盐结构的Ti1‑xWxC固溶体薄膜；制备方法包括步骤：1)以高纯钨作为靶源，半导体材料作为衬底，在衬底上沉积W膜；2)以高纯氧化铝作为靶源，在衬底上继续沉积Al2O3膜；3)采用双靶共溅射法，以高纯碳化钛和高纯钨为靶源，在衬底上继续沉积Ti1‑xWxC固溶体薄膜。本发明

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114086123 A (43)申请公布日 2022.02.25 (21)申请号 202111393300.7 C23C 14/54 (2006.01) (22)