一种快速冷却的镀膜样品台装置及其应用.pdfVIP

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2023-04-26 发布于四川
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一种快速冷却的镀膜样品台装置及其应用.pdf

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本发明涉及一种快速冷却的镀膜样品台装置及其应用，属于真空镀膜设备领域，包括冷却台、样品台及升降部、传动部；冷却台下方设置有样品挡板，样品挡板通过相应连接件与冷却台在竖直方向上相对固定连接；冷却台内设置有冷却介质容纳腔，并由一传输管通至冷却介质容纳腔内，传输管与冷却台固定连接，且传输管向外延伸连通至外部冷源；冷却台的底端位于冷却介质容纳腔的下方开有一开口朝下的样品槽，样品槽内设置有样品台，样品台以能够沿水平方向滑动的方式设置于样品槽内，样品台的下端面作为用于固定样品的工作面；本发明能够在小于1.2

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114134478 A (43)申请公布日 2022.03.04 (21)申请号 202111418416.1 (22)申请日 2021.11.26 (71)申请人上海大学地址 20