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本发明涉及半导体制造领域,公开了一种卡簧自动开启装置,包括固定座、撑开件和驱动杆,所述撑开件连接在所述固定座上,借由驱动所述驱动杆,以带动所述卡簧沿所述驱动杆的轴线方向并朝靠近所述撑开件的方向移动,当所述卡簧移动至所述撑开件时,所述卡簧的开口被撑开,无需手动即可方便地自动打开卡簧,有效提高了作业效率。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114080109 A
(43)申请公布日 2022.02.22
(21)申请号 202010846829.9
(22)申请日 2020.08.21
(71)申请人 东莞新科技术研究开发有限公司
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