一种石英玻璃本征应力测试的方法.pdfVIP

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2023-04-26 发布于四川
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一种石英玻璃本征应力测试的方法.pdf

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本发明公开了一种石英玻璃本征应力测试的方法，包括：提供石英玻璃样件，并对所述石英玻璃进行表面精磨抛光；对经过表面精磨抛光的石英玻璃进行表面腐蚀去机械应力；对经过表面腐蚀去机械应力的石英玻璃采用退火工艺消除热应力；对通过退火工艺消除热应力的石英玻璃采用双折射应力仪进行本征应力测试。本发明通过对所述石英玻璃进行表面精磨抛光，然后进行表面腐蚀去机械应力，以及采用退火工艺消除热应力，不仅测试操作简单，并可有效剔除机械应力和热应力的干扰，准确测得石英玻璃的本征应力，而且可以筛选出性能优越的石英玻璃毛坯，剔

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114136516 A (43)申请公布日 2022.03.04 (21)申请号 202111372186.X (22)申请日 2021.11.18 (71)申请人华中光电技术研究所（中国船舶重