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- 2023-04-26 发布于四川
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本发明公开了一种石墨烯声表面波滤波器件及其制备方法，该石墨烯声表面波滤波器件包括由下至上依次设置的压电基底、催化金属电极层以及石墨烯层，石墨烯层与催化金属电极层共同组成石墨烯叉指电极。制备方法包括：(1)将压电基底进行清洗；(2)在压电基底上图形化制备催化金属电极层；(3)在催化金属电极层上生长石墨烯，形成石墨烯叉指电极。本发明采用化学气相沉积与金属层催化裂解相结合的方法制备石墨烯/金属层，能显著降低催化金属电极层的厚度和石墨烯生长温度，且使石墨烯叉指电极与压电基底之间具有更强的结合力，可显著改
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114094982 A
(43)申请公布日 2022.02.25
(21)申请号 202111417968.0
(22)申请日 2021.11.25
(71)申请人 中国人民解放军国防科技大学
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