- 1、本文档共10页,其中可免费阅读9页,需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方,所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议,可选择认领,认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传,本站不保证质量和数量令人满意,可能有诸多瑕疵,付费之前,请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形,可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明涉及一种电缆线系SOI压阻压力传感器,衬底硅(10)微腔中设有感压膜片(4),衬底硅背面制有围堰(1),感压膜片区域制有敏感桥阻和互连线(2),感压膜片区域内制有互连线(6)与对应的敏感桥阻连接,围堰上的背封玻璃(50)中设有微凹腔(51)构成压力参考腔,衬底硅正面连接封接玻璃(60)及测量接口(61),金属接嘴(62)与封接玻璃连为一体,金属空心插管(54)与金属焊盘(3)形成电连接,金属空心插管中嵌压焊接电缆线(55)。本发明具有如下优点:传感器线性压阻灵敏度正/反向对称一致性,无管座
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114136511 A
(43)申请公布日 2022.03.04
(21)申请号 202111479804.0
(22)申请日 2021.12.07
(71)申请人 华东光电集成器件研究所
您可能关注的文档
- 电力设备隐患检测方法、装置、设备及存储介质.pdf
- 一种考虑通讯故障的船舶综合电力系统重构方法.pdf
- 对话文本生成方法、装置、电子设备及存储介质.pdf
- 一种污水资源产业化系统.pdf
- 一种制芯机器人自动化取芯系统及方法.pdf
- 多场景下电梯内搁置地面物品的检测方法.pdf
- 一种组合式水解码生态基浮岛装置.pdf
- 新能源电子锁及其反馈控制电路、控制方法和新能源汽车.pdf
- 页面展示的方法、装置、计算机设备和介质.pdf
- 三维人体尺寸测量方法、系统及计算机可读存储介质.pdf
- 2021-2022学年湖南省常德市安乡县四年级上学期期中语文真题及答案.pdf
- 2023-2024学年河南省南阳市社旗县四年级上学期期中数学真题及答案.pdf
- 2022-2023学年云南省曲靖市四年级下学期期末数学真题及答案.pdf
- 2021-2022学年河南省周口市鹿邑县二年级下册月考语文真题及答案.pdf
- 2018年河南焦作解放区教师招聘考试真题及答案.pdf
- 2019年江西公务员行测考试真题及答案-乡镇.pdf
- 2019中国石油报社应届高校毕业生招聘试题及答案解析.pdf
- 光大银行招聘应届毕业生能力素质测试笔试真题及答案.pdf
- 2024年广西百色教师招聘考试模拟题及答案.pdf
- 2021-2022学年浙江绍兴诸暨市五年级上册语文期末试卷及答案.pdf
提供农业、铸造、给排水、测量、发电等专利信息的免费检索和下载;后续我们还将提供提供专利申请、专利复审、专利交易、专利年费缴纳、专利权恢复等更多专利服务。并持续更新最新专利内容,完善相关专利服务,助您在专利查询、专利应用、专利学习查找、专利申请等方面用得开心、用得满意!
文档评论(0)