一种电子显微镜.pdfVIP

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2023-04-27 发布于北京
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本发明公开了一种电子显微镜，包括：电子源，用于产生电子束；物镜，用于聚焦所述电子束；调节极靴，可移动的设置在所述物镜与待测样品之间；第一驱动机构，所述第一驱动机构驱动所述调节极靴在第一位置和第二位置移动，所述第一位置为所述物镜的极靴方向朝向所述待测样品，所述第二位置为所述物镜的极靴方向朝向所述电子束的光轴。本发明提供的一种电子显微镜，实现电子显微镜在浸没式电子显微镜和非浸没式电子显微镜的切换，可以观察非磁性待测样品，也可以观察磁性待测样品，并且均能够获得高质量的图像。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114171361 A (43)申请公布日 2022.03.11 (21)申请号 202010954075.9 (22)申请日 2020.09.11 (71)申请人聚束科技（北京）有限公司