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一种光刻胶组合物及其应用.pdfVIP

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  • 2023-04-27 发布于四川
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一种光刻胶组合物及其应用.pdf

    本发明涉及光刻胶微电子化学领域，公开了一种光刻胶组合物及其应用，光刻胶组合物包括以下成分：以质量份计，酚醛树脂10‑50份，感光剂0.5‑10份、助剂0.1‑10份和有机溶剂30‑90份；所述助剂包括结构式I所示化合物中的一种或多种：其中，R1‑R10各自独立地选自氢、苯基、C1‑C10的烷基、C5‑C10的环烷基、醇羟基、酚羟基、醚、酯基、Ra取代的氨基、Ra取代的磺酸基、卤代基；Ra各自独立地选自C5‑C10的环烷基、苯基。本发明式I所示化合物作为I线光刻胶的添加剂，光刻胶分辨率可以达到0.

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114137795 A (43)申请公布日 2022.03.04 (21)申请号 202111499123.0 (22)申请日 2021.12.09 (71)申请人 广东粤港澳大湾区黄埔材料研

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