一种钽酸锂敏感元及应用其的红外热释探测器、制作方法.pdfVIP

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2023-04-27 发布于北京
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一种钽酸锂敏感元及应用其的红外热释探测器、制作方法.pdf

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本发明公开了一种钽酸锂敏感元及应用其的红外热释探测器、制作方法，包括钽酸锂晶圆、底部电极、硅衬底、顶部电极和吸收层。本发明对钽酸锂晶圆顶部金属电极进行图案化处理，对于单个芯片而言，通过硬掩膜设计将顶部电极一分为二，和底部金属电极共同构成了两个热释电探测器敏感元，顶部电极通过图案化处理，预留引线键合区域，降低工艺制程风险，通过磁控溅射进行钽酸锂敏感元的沉积代替研磨抛光法，简化了制备工艺，降低了制程难度，兼容半导体工艺，并且可以通过沉积得到厚度更薄的敏感元，探测器的响应性能更优异，在底部电极和衬底之

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114156402 A (43)申请公布日 2022.03.08 (21)申请号 202111677174.8 (22)申请日 2021.12.31 (71)申请人深圳市美思先端电子有限公司