铁基非晶合金薄膜及制备方法、应用其的电磁屏蔽膜与设备.pdfVIP

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2023-04-27 发布于北京
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铁基非晶合金薄膜及制备方法、应用其的电磁屏蔽膜与设备.pdf

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本发明公开了一种铁基非晶合金薄膜，其成分包括Fe、Co、B、Si、Ni、Mo、C，其各元素的质量百分比为：70wt％≤Fe≤90wt％，0≤Co≤6wt％，1wt％≤Si≤4wt％，1wt％≤B≤3wt％，0.2＜Ni≤20wt％,0≤Mo＜6wt％,0≤C＜3wt％。一种铁基非晶合金薄膜制备方法为磁控溅射工艺，通过该工艺制备所得的铁基非晶合金薄膜可制备有相应的电磁屏蔽膜及设备；采用本发明所述的化学成分(质量百分比)范围和磁控溅射工艺所制备的铁基非晶合金薄膜，具有综合磁性能优异的有益技术效果，利

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114150236 A (43)申请公布日 2022.03.08 (21)申请号 202111445454.6 C23C 14/35 (2006.01) (22)申请日 2