一种氯硅烷残液中高沸物的回收装置.pdfVIP

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2023-04-27 发布于北京
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一种氯硅烷残液中高沸物的回收装置.pdf

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本发明公开了一种氯硅烷残液中高沸物的回收装置，属于多晶硅生产技术领域，所述回收装置包括蒸发釜(1)、原料罐(2)、超重力旋转填料床(3)、再沸器(4)、第一回收罐(5)和第二回收罐(6)。本发明首先将残液中氯硅烷与固渣分离，然后将含有高沸物的氯硅烷通入超重力旋转填料床(3)中进行分离，低沸物回到系统中，得到高沸物产品，从而达到回收高沸物的目的，利用超重力技术，增加气液传质效率，是传统塔的十几倍，分离能力强、产品纯度高，同时该装置能高效分离残液中的高沸物，设备尺寸减小，设备投入少运行成本低，适合工

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114130052 A (43)申请公布日 2022.03.04 (21)申请号 202111564316.X B01D 3/32 (2006.01)