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本发明涉及一种异质结太阳电池生产系统及靶材清理机构,需要对靶材进行清理时,驱动组件带动清理环沿靶材的延伸方向移动,从而使得靶材插入清理腔内,进而能够利用至少两个清理件对靶材的表面进行清理,能够将搭在靶材与挡板之间的破损的硅片的碎片进行清理,避免靶材发生短路;同时,还能够对靶材表面上的粉尘进行清理,减少溅射过程中的原核点,还能减少靶材结瘤,提高镀膜品质,生产的薄膜的性能优良;并且,不需进行降温开腔清理,从而不需在清理后进行抽真空与升温,生产效率高,提高了产能。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114164408 A
(43)申请公布日 2022.03.11
(21)申请号 202111487569.1
(22)申请日 2021.12.07
(71)申请人 通威太阳能(安徽)有限公司
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