一种高效分解气体的钽金属板热丝CVD法.pdfVIP

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2023-04-27 发布于北京
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一种高效分解气体的钽金属板热丝CVD法.pdf

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本发明涉及金属加工技术领域，具体是涉及一种高效分解气体的钽金属板热丝CVD法，该方法是将经过预处理的刀具置于热丝CVD设备的真空钟罩内进行沉积获得金刚石薄膜或厚膜；所述热丝CVD设备真空钟罩内的热丝被钽金属板取代；所述钽金属板上设置有均匀分布的钽金属管孔洞；所述钽金属板两端分别接有电源正负极。本发明通过使用钽金属板取代热丝，以提高气体的分解电离效率和单位时间内可分解的气体量，气体从孔洞流出，与刀具的接触更均匀，碳源和氢气分解速度加快以及分解量的加大提高了金刚石生长速率和对石墨相的刻蚀速率，可制备

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114150289 A (43)申请公布日 2022.03.08 (21)申请号 202111484990.7 (22)申请日 2021.12.07 (71)申请人江西晶耀科技有限公司