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2023-04-27 发布于北京
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一种涂胶装置.pdf

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本发明提供了一种涂胶装置，包括：工艺腔体；胶嘴座，用于对工艺腔体内的晶圆涂胶；夹持机构，用于夹持所述胶嘴座；转动机构，所述转动机构包括转动端和固定端，所述夹持机构设置于所述转动端，所述转动机构带动所述夹持机构绕所述固定端转动；平移机构，所述固定端设置于所述平移机构，所述平移机构带动所述转动机构沿平移方向移动，通过平移机构和设置于平移机构上的转动机构带动所述夹持机构抓取胶嘴座，使胶嘴座能够作平移和旋转运动，实现所述胶嘴座在其放置位置和工艺腔体之间运动以避免光刻胶胶管之间发生干涉和折管现象，实现光刻

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114130618 A (43)申请公布日 2022.03.04 (21)申请号 202111510432.3 (22)申请日 2021.12.10 (71)申请人沈阳芯源微电子设备股份有限公司