一种纳秒激光劈裂玻璃方法.pdfVIP

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2023-04-27 发布于北京
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一种纳秒激光劈裂玻璃方法.pdf

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本发明涉及材料激光加工工艺领域，一种纳秒激光劈裂玻璃方法，包括形成初始损伤面：聚焦激光束在透明玻璃工件，通过激光束在透明玻璃工件内部产生不可逆的裂纹损伤与残余应力，激光束的每个脉冲均会产生一个单个的细长的不可逆初始损伤，在控制激光束沿着扫描轨迹，在透明玻璃工件形成初始损伤面；诱导初始损伤扩展：使用二氧化碳激光束沿着步骤1中的扫描轨迹再次扫描，通过加热诱导初始损伤面的裂纹在残余应力作用下扩展，初始损伤面中不连续的单个损伤逐渐扩展相连，形成宏观的缝隙，透明玻璃工件沿着宏观缝隙裂开完成分片切割。该工艺

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114149171 A (43)申请公布日 2022.03.08 (21)申请号 202111618105.X (22)申请日 2021.12.27 (71)申请人浙江