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本发明属于材料制备技术领域,更具体地,涉及一种相对封闭区域固相法制备石墨烯的方法。该方法在衬底上沉积碳源层和催化金属层后得到石墨烯制备前驱体,直接将该石墨烯制备前驱体倒置或者在该前驱体表面放置惰性盖体,形成封闭区域,然后加热退火制备得到免转移大面积高质量石墨烯,相对于正着放置或不设置盖体的开放区域固相法制备,该相对封闭区域固相法制备得到的石墨烯质量更好,无金属残留,碳源选择范围更大。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114171370 A
(43)申请公布日 2022.03.11
(21)申请号 202111363171.7 C23C 14/26 (2006.01)
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