- 1、本文档共20页,其中可免费阅读19页,需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方,所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议,可选择认领,认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传,本站不保证质量和数量令人满意,可能有诸多瑕疵,付费之前,请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形,可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明公开了一种电容结构制备方法,通过在基底上沉积包括第一介电层、第一支撑层、第二介电层、第二支撑层以及呈预设图案的阻挡层的堆叠结构,在堆叠结构中刻蚀出多个开口,其中开口的底部显露出位于基底中的电连接垫,沉积覆盖呈预设图案的阻挡层的顶表面以及开口的侧壁和底表面的导电层,刻蚀至少部分导电层形成下电极,下电极的顶表面至基底的第一距离小于第二支撑层的顶表面至基底的第二距离,去除第一介电层、第二介电层和呈预设图案的阻挡层,形成至少覆盖下电极的电容介电层以及上电极。该方法在对导电层进行回刻蚀以形成下电极时
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114171680 A
(43)申请公布日 2022.03.11
(21)申请号 202111476208.7
(22)申请日 2021.12.06
(71)申请人 福建省晋华集成电路有限公司
您可能关注的文档
- 一种用于制造纳米铈基催化剂前驱体的超重力旋转床及方法.pdf
- 一种长寿型合成空压机油及其制备方法.pdf
- 一种智能体感游戏鞋垫.pdf
- 一种用于游泳初学者的趣味性肺活量训练设备.pdf
- Boost变换器的控制方法、装置、电源和存储介质.pdf
- 高效降解对氯硝基苯的弱电介入人工湿地系统与运行方法.pdf
- 酒店机器人与酒店模拟电话通信系统及方法.pdf
- 信道质量检测方法及系统.pdf
- 一种制备碳酸二甲酯联产丙二醇的加工装置及其工艺.pdf
- 一种波分复用系统中高隔离度的光源填充装置和方法.pdf
- 2025版医药研发项目NDA保密服务合同.docx
- 2025年度知识产权转让保密协议范本.docx
- 2025年度爱情婚姻情感沟通合同范本.docx
- 2025年河北东方学院单招职业倾向性考试题库必考题.docx
- 2025年揭阳职业技术学院单招职业适应性测试题库完美版.docx
- 2025年度矿山安全生产管理居间服务协议.docx
- 2025年长治幼儿师范高等专科学校单招职业适应性考试题库审定版.docx
- 2025年河北轨道运输职业技术学院单招职业技能测试题库及完整答案.docx
- 2025年度桉树种植与林业产业扶贫合作合同.docx
- 2025年抚顺师范高等专科学校单招综合素质考试题库及答案一套.docx
提供农业、铸造、给排水、测量、发电等专利信息的免费检索和下载;后续我们还将提供提供专利申请、专利复审、专利交易、专利年费缴纳、专利权恢复等更多专利服务。并持续更新最新专利内容,完善相关专利服务,助您在专利查询、专利应用、专利学习查找、专利申请等方面用得开心、用得满意!
文档评论(0)