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本发明公开了一种氮化镓发光二极管的制备方法,涉及半导体领域,制备方法包括:提供蓝宝石衬底;对蓝宝石衬底进行常规清洗处理后在其上面沉积SiO2薄膜;在SiO2薄膜上表面制作圆形图案的光刻胶膜层;去除多余的SiO2膜层,在蓝宝石表面形成光刻胶和SiO2薄膜双掩膜结构的多个凹型坑;将表面形成有多个凹型坑的蓝宝石衬底进行干法刻蚀,并去除SiO2膜层,在蓝宝石衬底的表面形成多个V形孔;蒸镀Al单质薄膜,使Al膜完全填充V形孔;进行退火处理,使铝膜球聚形成铝球;生长氮化镓外延层,获得完全结构的外延片。上述制
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114141915 A
(43)申请公布日 2022.03.04
(21)申请号 202111543401.8
(22)申请日 2021.12.16
(71)申请人
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