基于先验信息的规则晶片定位方法.pdfVIP

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2023-04-28 发布于四川
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基于先验信息的规则晶片定位方法.pdf

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本发明公开了一种基于先验信息的规则晶片定位方法，具体步骤如下：第一步骤、晶片初始位置的定位，定位出晶圆上所有晶片的初始位置；第二步骤、选择固定的拍照方式，拍摄多张图像，多张图像的晶片区域有重叠；第三步骤、按照第一步骤中定位的晶片初始位置，选择每块晶片的起点拍摄位置，然后按照第二步骤中的固定拍照方式进行拍照；第四步骤、选取一组图像作为模板，根据每幅图像上晶片的信息来提取一定的先验信息，后面其他的晶片采用模板的先验信息去定位。该基于先验信息的规则晶片定位方法，具有在图像精度满足需求的小视野图像中准确

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 114187294 B (45)授权公告日 2022.05.17 (21)申请号 202210139366.1 (51)Int.Cl.