DB13_T5631-2022电子专用材料单晶硅生长用石英坩埚生产技术规范.docxVIP

ICS 81.040.30 CCS L 90 河 北 省 地 13 方 标 准 DB 13/T 5631—2022 电子专用材料单晶硅生长用 石英坩埚生产技术规范 2022 - 12 - 27 发布 2023 - 01 - 27 实施 河北省市场监督管理局 发 布 DB 13/T 5631—2022 I 前 言 本文件按照GB/T 1.1—2020 《标准化工作导则 第1部分： 标准化文件的结构和起草规则》的规 定起草。 本文件由由廊坊市市场监督管理局提出。 本文件起草单位：廊坊赫尔劳斯太阳能光伏有限公司。 本文件主要起草人： 贾建亮、贾建恩、孙艳、韩云涛、关海华、李继东。 DB 13/T 5631—2022 1 电子专用材料单晶硅生长用 石英坩埚生产技术规范 1 范围 本文件规定了电子专用材料单晶硅生长用石英坩埚的术语和定义、从业人员、设备、原辅材料、 工艺过程、环境要求和管理要求。 本文件适用于电子专用材料单晶硅生长用石英坩埚工艺技术。 2 规范性引用文件 下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用 文件， 仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改单) 适用于本文件。 GB 50034 建筑照明设计标准 GB 50073 洁净厂房设计规范 GBZ 2.1 工作场所有害因素职业接触限值(第一部分 化学有害因素) GBZ 188 职业健康监护技术规范 GBZ/T 189.8 工作场所物理因素测量 第8部分： 噪声 3 术语和定义 下列术语和定义适用于本文件。 电弧熔制 arc fusion 利用高温电弧熔融石英砂原料的过程。 涂层 coating 在石英坩埚内壁或外壁涂覆特种材料的过程。 4 从业人员 职业健康 应按照GBZ 188的要求， 对从业人员进行岗前、岗中、离岗职业健康体检， 同时配备符合要求的 个体防护用品， 保证从业人员符合职业健康安全管理要求。 岗位技能 从业人员应通过三级安全教育、岗位技能培训，经考核合格后方可上岗。 5 设备 熔制设备 应具有电极开闭、升降、旋转、冷却、弧变、除尘等装置。 外表面处理设备 应具有喷砂、研磨等功能。 DB 13/T 5631—2022 2 切边倒棱设备 应具有对中、切制、内倒角、外倒角等功能。 纯水清洗设备 5.4.1 手动纯水清洗设备 应具有纯水冲洗等装置。 5.4.2 自动纯水清洗设备 应具有产品自动化传输、纯水自动冲洗等装置。 涂层设备 应具有加热、旋转、喷雾、冷却专用涂层等装置。 6 原辅材料 石英砂 石英砂杂质元素含量应符合表1的规定。 单位为微克表1 石英砂杂质元素含 单位为微克 位 置 元素名称 铝 AL 钙 Ca 镁 Mg 钡 Ba 铬 Cr 铜 Cu 铁 Fe 镍 Ni 锰 Mn 锂 Li 钠 Na 钾 K 锆 Zr 钛 Ti 锗 Ge 磷 P 硼 B 内 层 7.7 0.8 0.05 - - - 0.2 - - 0.1 0.2 0.1 - 1.4 0.7 - 0.1 外 层 16.0 1.2 0.1 0.1 0.1 0.1 0.5 0.1 0.1 1.0 1.0 1.0 0.5 2.0 2.0 0.1 0.1 注1：内层锂、钠、钾3种元素之和≤2.0。 注2：杂质元素含量小于或等于表中所示值。 石墨电极 应符合以下要求： a) 体积密度： ≥1.65 g/cm3； b) 电阻率： ≤8.5μΩ?m； c) 灰分： ≤50 μg /g； d) 抗压强度: ≥35 MPa； e) 抗折强度： ≥15 MPa。 涂层原料 涂层原料主要有：氢氧化钡、碳酸钡；试剂纯度≥99.99%。 纯水 电阻率≥16 MΩ?cm。 7 工艺过程 DB 13/T 5631—2022 3 熔制 7.1.1 上料成型 利用65~100转/分的离心力和成型装置，将石英砂原料在旋转的石墨模具、球磨铸铁模具内形 成一定的形状和厚度。 表2 尺寸公差 单位为毫米 坩埚外径尺寸 外径公差 高度公差 厚度公差 偏壁度 椭圆度 D≤305 ±3 ±3 ± 1.5 1.0 2 305D457 ±4 ±3 ±2.0 13 3 D457 ±6 ±3 ±2.5 1.5 4 7.1.2 埚坯电弧熔制 以高温电弧为热源， 对坩埚模具内的石英砂原料进行高温熔制。 外表面处理 坩埚端口朝下放置于作业平台，利用研磨设备或各类喷砂设备去除坩埚外表面未完全熔融的石 英砂。 切边倒棱 利用切边倒棱设备的对中装置对坩埚进行校正后， 按高度要求用切断装置对坩埚进行切断，再 利用内、外倒角装置，按要求对坩埚切断端面进行