打线接合装置及半导体装置的制造方法.pdfVIP

打线接合装置及半导体装置的制造方法.pdf

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一种半导体装置的制造方法,利用导线将第一接合点与第二接合点之间连接,且所述半导体装置的制造方法包括:利用球形接合在第一接合点形成压接球与球颈的球形接合工序;在球颈与压接球之间形成减小了剖面面积的薄壁部的薄壁部形成工序;使瓷嘴上升而抽出导线尾端后,使瓷嘴向第二接合点的方向移动,在薄壁部分离导线尾端与压接球的导线尾端分离工序;以及使瓷嘴下降并将已分离的导线尾端的侧面接合在压接球上的导线尾端接合工序。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114207790 A (43)申请公布日 2022.03.18 (21)申请号 202080009029.X (51)Int.Cl.

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