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使用硼酸为掺杂物的单晶硅锭的制造方法及使用固相掺杂物的拉锭器设备.pdfVIP

使用硼酸为掺杂物的单晶硅锭的制造方法及使用固相掺杂物的拉锭器设备.pdf

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    本发明公开用于制造硅晶硅锭的方法。所述锭使用固相硼酸作为硼源用硼进行掺杂。硼酸可在锭生长期间用于反向掺杂所述锭。还公开使用固相掺杂物的拉锭器设备。所述固相掺杂物可经安置在经移动而更靠近熔融物的表面的容器中，或蒸发单元可用于从所述固相掺杂物制造掺杂物气体。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114207193 A (43)申请公布日 2022.03.18 (21)申请号 202080053269.X R ·J ·菲利普斯　张楠　吴雨樵　 (22)申请日

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