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本发明公开了一种氧化铟铈钛钽粉体及其制备方法，属于铟铈钛钽氧化物的制备领域。所述氧化铟铈钛钽粉体的化学式为In1‑x‑y‑zTaxTiyCezO，其中，x、y、z的值为0.001‑0.2。D50＝1.28‑1.54μm，D10≥0.71μm，D90≤4.45μm，粒度分布系数P＝(D90‑D10)/D50≤2.51，含水量：0.36％‑0.55％。本发明的技术方案可以避免大粒径稀有金属元素掺入氧化铟引起的成分不均一的问题，该氧化铟铈钛钽粉体可以制备高密度、组织均匀及具备优异光电特异性的氧化铟铈钛
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114180938 A
(43)申请公布日 2022.03.15
(21)申请号 202111548177.1
(22)申请日 2021.12.15
(71)申请人 先导薄膜材料（广东）有限公
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