制程数据的检测方法、计算机可读介质及电子设备.pdfVIP

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2023-04-28 发布于四川
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制程数据的检测方法、计算机可读介质及电子设备.pdf

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本公开提供了一种制程数据的检测方法、计算机可读介质及电子设备，该检测方法包括：确定新增制程的制程数据；根据新增制程的制程数据，通过第一生产系统检测新增制程的晶圆载体种类和对应制程站点可接受的等级是否匹配，以及新增制程与对应制程站点的标签是否匹配；若不匹配，则检测不通过，输出第一检测信息；若两者均匹配，则通过第二生产系统检测新增制程的晶圆载体种类和对应制程站点可接受的等级是否匹配，以及新增制程与对应制程站点的标签是否匹配；若第二生产系统检测检测后不匹配，则检测不通过，输出第二检测信息。本公开提供的

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114202133 A (43)申请公布日 2022.03.18 (21)申请号 202010910567.8 (22)申请日 2020.09.02 (71)申请人长鑫存储技术有限公司