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半导体存储器分类介绍
§ 1. 1微纳电子技术的发展与现状
§1.1.1微电子技术的发展与现状
上个世纪50年代晶体管的发明正式揭开了电子时代的序幕。此后为了提高电
子元器件的性能,降低成本,微电子器件的特征尺寸不断缩小,加工精度不断提
高。1962年,由金属-氧化物 -半导体场效应晶体管(MOSFET)组装成的集成电路
(IC)成为微电子技术发展的核心。
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