《光学显微干涉式三维表面形貌测量仪校准规范》.pdfVIP

JJF （苏） -201* 目 录 引言 II 1 范围 1 2 引用文件 1 3 概述 1 4 计量特性2 4.1 Z方向长度测量误差2 4.2 Z方向长度测量重复性2 4.3 XY方向长度测量误差2 4.4 XY方向长度测量重复性2 4.5 XY方向正交误差2 4.6 测量噪声2 5 校准条件2 5.1 环境条件2 5.2 测量标准及其他设备2 6 校准项目和校准方法3 6.1 Z方向长度测量误差3 6.2 Z方向长度测量重复性4 6.3 XY方向长度测量误差4 6.4 XY方向测量重复性6 6.5 XY方向正交误差6 6.6 测量噪声6 7 校准结果表达7 8 复校时间间隔7 附录A8 附录B11 I JJF （苏） -201* 引 言 本规范依据JJF 1071 《国家计量校准规范编写规则》编制，规范中的通用 计量术语符合JJF 1001 《通用计量术语及定义》，附录中的测量不确定度示例依 据JJF 1059.1-2012 《测量不确定度评定与表示》评定。 本规范主要参考ISO25178-603:2013 产品几何量技术规范(GPS) 表面结构 区域法 第603部分 非接触 (相移干涉显微) 式仪器的标称特性(Geometrical product specifications(GPS)-Surfacetexture:ArealPart 603:Nominalcharacteristics ofnon-contact (phase-shiftinginterferometricmicroscopy) instruments) 、ISO 25178-604:2013 产品几何量技术规范(GPS) 表面结构 区域法 第604部分 非 接触 (相干扫描干涉) 式仪器的标称特性 （GeometricalProduct Specifications (GPS)— Surfacetexture:Areal—Part 604 :Nominalcharacteristicsofnon-contact (coherence scanning interferometry) instruments）等编制而成。 本规范为首次发布。 II 光学显微干涉式三维表面形貌测量仪校准规范 1 范围 本规范适用于光学显微干涉式三维表面形貌测量仪的校准。 2 引用文件 本规范引用下列文件： JJF 1001-2011 通用计量术语及定义 JJF 1059.1-2012 测量不确定度评定与表示 JJF 1071-2010 国家计量校准规范编写规则 GB/T 19067.1-2003 产品几何技术规范（GPS）表面结构轮廓法测量标准 第一部分：实物测量标准 凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本规范；凡是不注日期的引 用文件，其最新版本 （包括所有的修改单）适用本规范。 3 概述 光学显微干涉式三维表面形貌测量仪（以下简称测量仪）是一种利用光学干 涉原理对样品表面三维形貌进行精密测量的仪器，在样品表面垂直方向上可以达 到亚纳米级的分辨力，广泛应用于材料、半导体等领域。大多数情况下，测量仪 使用白光作为光源，故也被称作白光干涉仪。 测量仪由主机与控制系统共同构成，其坐标系与测量回路示意图见图1。根 据干涉显微镜结构的不同，测量仪分为迈克尔逊(Michelson)、米劳(Mirau)和林尼 克(Linnik)三种。结构分别见图2、图3、图4。 1—坐标系 2—测量回路 图1 光学显微干涉式表面形貌测量仪的坐标系与测量回路示意图 A—干涉物镜 C—被测样品