第八章扫描电子显微镜.pptVIP

SEM主要性能 8.2.3 SEM主要性能 ⒈ 放大倍数 若电子束在样品表面扫描振幅为As，在荧光屏上阴极射线管同步扫描幅度为Ac，则SEM放大倍数为 由于SEM荧光屏尺寸固定不变，因此放大倍数的改变是通过改变电子束在样品表面的扫描振幅实现。 通常，Ac＝100mm，若As＝5mm，则M＝20； 若减小扫描线圈电流使As=0.05mm，则M=2000 目前SEM放大倍数可以从20倍连续调节到20万倍。 现在是31页\一共有68页\编辑于星期四 放大倍数 beam e- P Detector Amplifier 10cm M=AC/AS AS AC P 现在是32页\一共有68页\编辑于星期四 放大倍数 球形石墨颗粒的SEM像 现在是33页\一共有68页\编辑于星期四 分辨率 ⒉分辨率 对微区成分分析而言，分辨率指能分析的最小区域；对成像而言，指能分辨的两点之间的最小距离。 ⑴ 影响因素 ① 束斑直径 束斑直径越小，可能的分辨率越高，但分辨率不直接等于入射电子束直径。 现在是34页\一共有68页\编辑于星期四 分辨率 ② 调制成像信号——不同信号源自作用体积内不同区域，成像单元的体积大小不同，分辨率各不相同 a、俄歇电子和二次电子 ——来源于样品浅表层（俄歇电子:0.5~2nm，二次电子：5~10nm），入射电子束尚未发生明显横向扩展，可以认为俄歇电子和二次电子主要来源于直径