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本发明公开了一种面发射多阶涡旋光束的分布反馈激光器,其包括相邻的有源区和无源区,其中,有源区包括依次堆叠的衬底、下包层、下波导层、有源层、上波导层、上内包层和上包层,上内包层内具有选模光栅;无源区包括依次堆叠的衬底、下包层、波导芯层、上包层和叉状光栅,波导芯层侧壁与有源区中至少包含有源层的子叠层具有接触界面,上包层位于无源区的部分呈梳状结构,梳状结构的末端具有至少两个分离的条形波导,每个条形波导上形成有叉状光栅。有源区为谐振腔结构用来产生激光,无源区可以将激光器输出模式分成多个不同的模式,然后在
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114256739 A
(43)申请公布日 2022.03.29
(21)申请号 202111533380.1
(22)申请日 2021.12.15
(71)申请人 华中科技大学
地址
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