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2023-05-04 发布于北京
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一种电子束系统.pdf

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本发明公开了一种电子束系统，包括：电子源，用于产生电子束；第一束导管，用于加速所述电子束；第二束导管，用于加速所述电子束；第一控制电极，设置于所述第一束导管和所述第二束导管之间，用于改变所述电子束作用于待测样品上产生的背散射电子和二次电子的运动方向；第一探测器，设置于所述第一束导管和所述第一控制电极之间，用于接收所述电子束作用于所述待测样品上产生的背散射电子。本发明第一控制电极改变电子源产生的电子束作用于待测样品上产生的背散射电子和二次电子的运动方向，使得设置于第一束导管和第一控制电极之间的第一

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114256043 A (43)申请公布日 2022.03.29 (21)申请号 202011389634.2 (22)申请日 2020.12.02 (71)申请人聚束科技（北京）有限公司