衬底保持器、光刻设备和方法.pdfVIP

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2023-05-04 发布于北京
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衬底保持器、光刻设备和方法.pdf

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本发明提供一种用于支撑衬底的衬底保持器、一种包括所述衬底保持器的光刻设备、和一种支撑所述衬底的方法。所述衬底保持器包括主体、多个支撑销、和板。所述板被定位在所述主体的表面与由所述多个支撑销所形成的支撑表面之间。所述板能够在沿所述主体的所述表面与所述支撑表面之间的所述多个支撑销的方向上致动。所述衬底保持器也可以包括主体、柔性构件和从所述主体的表面突伸的固定的构件。所述柔性构件将封闭腔室限定于其中且被配置成与支撑在所述衬底保持器上的所述衬底形成密封。所述衬底保持器被配置成减小所述柔性构件的所述封闭腔

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114270270 A (43)申请公布日 2022.04.01 (21)申请号 202080058840.7 (74)专利代理机构中科专利商标代理有限责任