薄膜的检测方法.pdfVIP

下载本文档

2
0
约2.92万字
约 24页
2023-05-04 发布于北京
举报
版权申诉

薄膜的检测方法.pdf

1、本文档共24页，其中可免费阅读23页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本申请实施例公开了一种薄膜的检测方法，包括：向待测薄膜的第一表面提供激光脉冲激发信号，以在待测薄膜中激发超声波；其中，待测薄膜包括相对的第一表面和第二表面；获取超声波在待测薄膜中传播的信号谱；根据信号谱，确定超声波的至少两个回波的回波参数；其中，至少两个回波为超声波经第二表面反射后回到第一表面的波，回波参数包括回波的信号幅值以及回波到达第一表面的回波到达时间；根据至少两个回波的回波参数，确定超声波在待测薄膜中传播的平均声速；根据平均声速和回波到达时间，确定待测薄膜的厚度。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114216857 A (43)申请公布日 2022.03.22 (21)申请号 202111412733.2 (22)申请日 2021.11.25 (71)申请人长江存储科技有限责任公司