一种低噪声图像传感器.pdfVIP

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2023-05-04 发布于北京
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一种低噪声图像传感器.pdf

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本发明公开了一种低噪声图像传感器，将像素单元分别制作于两片圆晶上，形成三片圆晶堆叠的背照式图像传感器，由上而下分别为光电二极管圆晶、像素控制圆晶和逻辑控制圆晶。将光电二极管(PD)、传输栅晶体管(M1)、浮置扩散节点(FD1)制成于独立的光电二极管圆晶上，将复位晶体管(M2)、源跟随器晶体管(M3)、行选择晶体管(M4)制成于另一片像素控制圆晶上，并通过铜‑铜互连将浮置扩散节点(FD1)与源跟随器晶体管(M3)的栅极相连。将传统的平面像素单元改进为三维像素单元，在保持光电二极管面积不变的同时，缩

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114222081 A (43)申请公布日 2022.03.22 (21)申请号 202111533034.3 (22)申请日 2021.12.15 (71)申请人上海