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本申请公开了一种激光剥离装置和激光剥离方法，所述装置包括激光器和整形器；激光器用于产生激光束；激光束的传输光路上设置整形器；整形器用于将激光束转换为平顶光激光束，平顶光激光束分布成点状、线状或面状；平顶光激光束的传输光路上设置相对运动扫描部件；相对运动扫描部件用于将平顶光激光束与待剥离样品之间产生至少一个轴向上的相对运动，形成扫描激光点、扫描激光线或扫描激光面；其能够降低对应用层材料的损伤，提升良品率，提高基底的重复利用率，降低半导体产业的生产成本；同时提高剥离效率，提高加工速度。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114248023 A
(43)申请公布日 2022.03.29
(21)申请号 202111639664.9
(22)申请日 2021.12.29
(71)申请人 南光高科（厦门）激光科技有限公司
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